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材料表面特性及結構表征
材料表面特性及結構表征
——SEM+EDS
基本原理：
電子槍發出電子，經過加速電壓加速后轟擊到測試樣品表面，激發出各種信號，其中有二次電子（SEI），被散射電子（BEI），特征X-ray，俄歇電子等信號，其中SEI及BEI用于成像，特征X-ray則用于材料表面元素分析。
目的意義：
通過對涂鍍層、形貌、表面元素的測試，可以監控產品質量，有助于改善工藝。
樣品的要求：
非磁性，不易潮解，且無揮發性的固態樣品，尺寸要求：小于3CM*3CM*3CM樣品。若樣品不符合要求尺寸，須告知樣品可否破壞！
測試項目：
1.表面形貌觀察，斷口觀察 ：JY/T 010-1996 分析型掃描電子顯微鏡方法通則
2.微薄鍍層厚度測量 ：GB/T 16594-1996 微米級長度的掃描電鏡測量
3.表面元素定性半定量分析 ：GB/T 17359-1998 電子探針和掃描電鏡X射線能譜定量分析通則
4.錫須觀察 :JESD 22a121.01測量錫和錫合金材料表面晶須生長的測試方法
JESD 201 影響錫和錫合金材料表面晶須生長的可接受環境要求
測試報告示例：
（1）測試設備：
|
名稱 |
型號 |
儀器編號 |
校準有效期 |
|
掃面電子顯微鏡 |
JSM-6390LA |
ASZTTECT00012 |
------ |
|
X射線能譜分析儀 |
JED-2300 |
ASZTTECT00012-1 |
------ |
（2）環境條件：溫度：22±3℃； 濕度：55±10%RH
（3）參考標準：GB/T 17359-1998電子探針和掃描電鏡X射線能譜定量分析通則。
（4）測試樣品：001
（5）測試條件：樣品表面經鍍Pt25s后，按照標準作業流程放入掃描電子顯微鏡樣品室中對客戶要求之測試位置進行放大觀察，并用能譜儀檢測出表面元素種類及含量。
表1. EDS測試結果(Mass%)
|
Spectrum |
C |
O |
P |
Ni |
Total |
|
001 |
10.18 |
1.53 |
7.30 |
81.00 |
100 |
|
002 |
14.85 |
1.36 |
7.59 |
76.20 |
100 |
|
003 |
10.30 |
0.99 |
7.71 |
81.01 |
100 |
|
004 |
10.50 |
/ |
7.29 |
82.22 |
100 |
表2. EDS測試結果(Mass%)
|
Spectrum |
C |
O |
P |
Ni |
Total |
|
003 |
11.20 |
1.58 |
7.01 |
80.21 |
100 |
|
004 |
10.77 |
1.24 |
5.60 |
82.39 |
100 |
|
005 |
6.99 |
1.06 |
4.34 |
87.61 |
100 |
